2.45GHz顺流等离子体源

来源：北京智联兴达科贸有限公司 时间：2024-11-04 14:05:34 [举报]

材料处理：微波等离子体源可用于表面处理、薄膜沉积和蚀刻工艺。它们可以帮助在各种材料上沉积薄膜，或改变材料的表面特性。

电子器件制造：ECR等离子体源在半导体工业中，微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧，可以多个等离子体源组成等离子墙，或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。

微波等离子体源是一种通过微波能量激发气体分子来产生等离子体的装置。它通常由微波发生器、谐振腔和等离子体室组成。微波发生器会产生一定频率和功率的微波能量，然后将微波能量通过谐振腔传递到等离子体室中的气体分子上。气体分子会被激发并产生等离子体，这种等离子体可以用于各种应用，如材料表面处理、离子束刻蚀等。微波等离子体源在科学研究和工业生产中都有广泛的应用。

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